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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹：
L-OFM10062MN L-OFM14073MN L-O***0083MN L-O***5089MN L-OFM30093MN
L-OVM20117MN L-OVM20118MN-BS L-OVM50167MN L-OVM50170MN-BS
使用具有大量像素的線傳感器攝像機(jī)進(jìn)行檢查
平板顯示基板的精細(xì)圖案檢查
印刷電路板等的精細(xì)圖案檢測(cè)
半導(dǎo)體晶圓等的精細(xì)圖案檢測(cè)
詳情介紹：
| 類型表達(dá)式 | L-OVM50170MN-BS | |||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 使用放大倍率范圍 | -2x～-5x | |||||||
| 放大倍數(shù) | -2x | -2.5x | -3x | -3.5x | -4x | -4.5x | -5x | （-5.2x）※2 |
| 焦距 | 117mm | |||||||
| F 編號(hào)（∞） | F2.5 | |||||||
| NA | 0.133 | 0.144 | 0.151 | 0.157 | 0.162 | 0.166 | 0.17 | 0.171 |
| 參考波長(zhǎng) | 546.07nm（e-line） | |||||||
| 使用波長(zhǎng)范圍 | 400～700nm | |||||||
| 圖像圓 | Φ86.4mm | |||||||
| 對(duì)象大小 ※1 |
Φ43.2 mm |
Φ34.6 mm |
Φ28.8 mm |
Φ24.7 mm |
Φ21.6 mm |
Φ19.2 mm |
Φ17.3 mm |
（Φ16.6 mm） |
| 畸變畸變 ※1 | +0.1% | -0.0% | -0.0% | -0.1% | -0.1% | -0.1% | -0.1% | （-0.0%） |
| 周邊照度比 ※1 | 88.2% | 93.3% | 96.2% | 97.5% | 98.1% | 98.6% | 99.0% | （99.1%） |
| 光圈刻度 | 2.5 2.8 4 5.6 8 11 | |||||||
| 物體圖像間距離 |
513.7 mm |
561 mm |
612.1 mm |
665.4 mm |
720.1 mm |
775.7 mm |
831.9 mm |
（854.5 mm） |
| 工作距離 |
119.8 mm |
107.8 mm |
99.8 mm |
94 mm |
89.9 mm |
86.4 mm |
83.6 mm |
（82.7 mm） |
| 安裝 | M67（P=0.75） | |||||||
| 法蘭背 |
253.9 mm |
313.2 mm |
372.3 mm |
431.4 mm |
490.3 mm |
549.3 mm |
608.3 mm |
（631.8 mm） |
| 過(guò)濾器尺寸 | M58（P=0.75） | |||||||
| 外形尺寸 ※3 | Φ84mm x 140mm | |||||||
| 質(zhì)量 | 約1350克 | |||||||
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