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產(chǎn)品詳情
簡單介紹：
國內(nèi)總代日本小坂KOSAKA臺階儀微細(xì)形狀測定機ET200A-3D 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。 ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設(shè)計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。
詳情介紹：
日本小坂KOSAKA 臺階儀 微細(xì)形狀測定機ET200A-3D 華東總代 產(chǎn)品詳細(xì)信息
日本小坂KOSAKA 臺階儀 | 微細(xì)形狀測定機ET200A概述
ET200A基于Windows 操作系統(tǒng)為多種不同表面提供**的形貌分析，包括半 導(dǎo)體硅片、太陽能硅片、薄膜磁頭及磁盤、MEMS、光電子、精加工表面、生物醫(yī)學(xué)器件、 薄膜/化學(xué)涂層、平板顯示、觸摸屏等。使用金剛石（鉆石）探針接觸測量的方式來實現(xiàn)高 精度表面形貌分析應(yīng)用。ET200A 能**可靠地測量出表面臺階形貌、粗糙度、波紋度、磨 損度、薄膜應(yīng)力等多種表面形貌技術(shù)參數(shù)。 ET200A 配備了各種型號探針，提供了通過過程控制接觸力和垂直范圍的探頭，彩色CCD 原位采集設(shè)計，可直接觀察到探針工作時的狀態(tài)，更方便準(zhǔn)確的定位測試區(qū)域。
它是2D表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇，可實現(xiàn)高精度，高分辨率和出色的穩(wěn)定性，并且還支持測量力小的軟樣品表面。
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ET200A：表面粗糙度分析和階梯測量的理想選擇
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ET200A-D：配備電動Y軸單元
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ET200A-3D：<>D 表面粗糙度分析和階躍差測量的理想選擇
| *大樣本量 | Φ160×厚度52毫米 |
|---|---|
| 再現(xiàn)性 | 1σ 0.3nm以內(nèi) |
| 測量范圍 | Z軸：600微米 X：100毫米 |
| 分辨率 | Z軸：0.1納米 X：0.1微米 |
| 測量力 | 10μN~500μN |
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