日本kashiyama柏山工業(yè)株式會(huì)社

日本柏山工業(yè)株式會(huì)社Kashiyama Industries, Ltd.，位于日本國長(zhǎng)野縣佐久市，成立于1951年1月10日。產(chǎn)品包括高精密真空泵和滑雪設(shè)備。堅(jiān)山干式真空泵產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體，液晶和新能源等行業(yè)。

干式真空泵

干式真空泵介紹

您可以信賴的真空技術(shù)。展現(xiàn)**實(shí)力的多元化產(chǎn)品群。

Kashiyama 的產(chǎn)品在半導(dǎo)體和液晶制造等眾多現(xiàn)代**領(lǐng)域深受客戶信賴。

這種信任的基礎(chǔ)是我們多年來培育的真空技術(shù)。

尤其是干泵系列，已成為半導(dǎo)體制造工藝的標(biāo)準(zhǔn)，可以說是該真空技術(shù)的**之作，在*廣泛的應(yīng)用中展現(xiàn)出*高的可靠性，受到了客戶的高度贊譽(yù)。困難的過程..

柏山真空技術(shù)創(chuàng)造的產(chǎn)品，不僅是干泵，還有機(jī)械增壓泵和真空泵，正在許多領(lǐng)域展示其威力。

主要型號(hào)

號(hào)*1	SDX600	SDT600	SDX1200	SDT1200	SDX1800	SDT1800	SDH3000 *5	SDH6000 *5
*大抽速 [L/min] *2	10,000	18,000	19,000	30,000	50,000	100,000
極限壓力 [Pa] *2	0.5	0.3	0.5
氮?dú)饬髁縖SLM]	0 至 80	0 到 120
冷卻水流量[L/min]	3.0	4.0	3.0	4.0	3.0	4.0	4.0	4.0
消耗功率 [kW] *3	1.5	3.0	1.65	3.15	2.1	3.3	3.3	3.7
外形尺寸 [mm] *4	L。	695	695	850	910	1050
W.	第285章	第285章	380	第420章	515
H。	850	850	950	900	950

*1) SDX 節(jié)能/赫什工藝兼容機(jī)、SDT/SDH 耐工藝/超嚴(yán)酷工藝兼容機(jī)
*2)不使用 N2 吹掃時(shí)的值。*3) *終運(yùn)行期間的大約功耗。*4) 封裝尺寸。如需詳細(xì)尺寸，請(qǐng)索取外部圖紙。
*5) 我們擁有一系列具有優(yōu)異加工耐受性的產(chǎn)品，因此請(qǐng)聯(lián)系我們的銷售代表。
規(guī)格和型號(hào)名稱如有變更，恕不另行通知。*請(qǐng)聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。

排氣性能曲線