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HORIBA堀場FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動化薄膜測量工具

日期：2026-04-05 18:24

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摘要：HORIBA堀場FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動化薄膜測量工具

Auto SE - 自動化薄膜測量工具
一鍵式全自動快速橢偏儀
Auto SE是一種新型薄膜測量工具。僅需簡單的幾個按鈕，幾秒鐘內即可自動完成樣品測量和分析，并提供完整的薄膜特性分析報告，包括薄膜厚度、光學常數、表面粗糙度和薄膜的不均勻性、反射率或透過率。
Auto SE全自動化設計、一鍵式操作，功能齊全。配備自動XYZ樣品臺進行成像分析，自動切換微光斑，多種附件可選，以滿足不同的應用需求。
Auto SE借助完整的操作向導，自動檢測并診斷問題，對故障進行處理，儀器維護簡單
Auto SE是用于快速薄膜測量和器件質量控制理想的解決方案。

HORIBA堀場FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動化薄膜測量工具
全自動流程，薄膜分析更容易
高性能系統
光斑可視化，微光斑可至25x60 μm
功能齊全和靈活
智能診斷

HORIBA堀場FranceSAS橢圓偏振光譜儀-自動化薄膜測量工具
光譜范圍：440-1000nm
光斑尺寸：7個尺寸微光斑全自動切換500x500 μm; 250x500 μm; 250x250 μm; 70x250 μm; 100x100 μm; 50x60 μm; 25x60 μm
探測系統：CCD，分辨率2nm
樣品臺：真空吸盤，Z軸行程40mm
光斑可視系統：CCD攝像機-視野1.33x1 mm-分辨率10μm
量角器：固定角70°，也可選擇66°或61.5°
多種附件可選
測試時間：<2s，常規為5s
準確性：NIST 100nm d ± 4?, n(632.8nm) ± 0.002
重復性：NIST 15nm ± 0.2 ?

發光二極管（LED）具有耗電量少、壽命長、色彩豐富、耐震動、易控等特點。1990年代以來，半導體照明技術不斷突破，應用領域日益擴展。LED的電光轉化效率取決于LED薄膜的結構和整體材料性能。橢圓偏振光譜可以準確測定LED器件的厚度和光學常數。用于研究和工業應用。厚度和折射率的準確控制對弈器件性能的優化和工業質量的控制至關重要。

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