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產品名稱：塔瑪薩崎Otsuka大塚膜厚儀
產品型號：MCPD 系列嵌入式薄膜厚度頭
產品廠商：OTSUKA大塚電子
產品價格：0
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簡單介紹：

我們的 MCPD 系列采用柔性光纖，可集成到從原位到內聯的各種位置和應用。由于測量原理采用光譜干涉系統，因此在實現高測量可重復性的同時，還支持多層厚度測量。采用專有算法，可實現高速實時監控。

詳情介紹：

特點

膜厚測定范圍65nm~92μm（SiO₂轉換）
*短曝光時間1ms~ ※根據規格
靈活的光纖光學系統，易于集成到半導體工藝裝置中
從頂部進行遠程控制
*適合在拋光過程中檢測薄膜厚度端點

基本配置

MCPD 嵌入式基本配置

設備嵌入式圖像

MCPD 嵌入式圖像

測量示例

CMP 流程中實時監控的原位端點檢測

對象：布線工序中CMP研磨對象的各種薄膜

規格

MCPD-9800 規格

類型表達式	MCPD-9800
	2285C	3095C	3683C	311C	916C
測量波長范圍（nm）	220～850	300～950	360～830	360～1100	900～1600
薄膜厚度范圍*	65nm～35μm	65nm～50μm	65nm～45μm	65nm～49μm	180nm～92μm
薄膜厚度/反射/透射/延遲	〇
顏色測量	〇				×
掃描時間	5ms～20s				1ms～10s
點直徑	φ1.2mm
纖維長度	1m~ 長度需要咨詢

※膜厚值n=1.5換算。取決于規格

MCPD-6800 規格

類型表達式	MCPD-6800
類型表達式	2285C	3095C	3683C	3610C
測量波長范圍（nm）	220～850	300～950	360～830	360～1000
薄膜厚度范圍*	65nm～35μm	65nm～50μm	65nm～45μm	65nm～49μm
薄膜厚度/反射/透射/延遲/顏色測量	〇
掃描時間	16ms～65s
點直徑	φ1.2mm
纖維長度	1m~ 長度需要咨詢

※膜厚值n=1.5換算。取決于規格

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產品名稱：塔瑪薩崎Otsuka大塚膜厚儀

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